工控維修

一、旋涂儀概述

旋涂儀是一種廣泛應用于實驗室和工業(yè)生產中的設備，主要用于將樣品溶液均勻地涂覆在基板表面。常見于薄膜制作、溶膠凝膠實驗等領域，其操作簡便、效率高，是材料科學和微電子技術中不可或缺的工具。

二、旋涂儀原理

旋涂儀的工作原理基于離心力的作用。當基板被固定在高速旋轉的平臺上時，滴加在基板上的樣品溶液會在離心力的作用下迅速鋪展開來，形成均勻的薄膜。勻膠旋涂儀通過控制旋轉速度、旋轉時間和滴液量等參數，可以精確調節(jié)薄膜的厚度和均勻性。

三、旋涂儀的使用方法

旋涂儀的使用大致可以分為以下幾個步驟：

1. 準備樣品溶液：將待涂覆的樣品溶解在適當的溶劑中，制備成一定濃度的溶液。

2. 安裝基板：選擇適合尺寸的吸盤，將其固定在旋轉臺上，確?；逦挥谖P正中央。

3. 設置參數：根據實驗需求，設定旋涂儀的旋轉速度和旋轉時間。通常分為兩個步驟，第一步用于初步鋪展溶液，第二步則用于細化薄膜厚度。

   
   

4. 滴加樣品：在基板中心位置滴加適量的樣品溶液，并迅速蓋上防護蓋以防意外濺出。

5. 啟動旋涂：確認參數設置無誤后，啟動旋涂儀，樣品溶液將在離心力作用下均勻涂覆在基板上。

6. 干燥處理：旋涂完成后，將基板移出旋涂儀，進行干燥處理，如使用烘箱或離心干燥等方法，使樣品在基板上干燥固化。

7. 關機與清理：關閉旋涂儀，清理旋轉臺和吸盤上的殘留物，保持設備干凈干燥。

四、旋涂儀的常見故障及維修方法

1. 基材污染：

• 現象：旋涂后的薄膜出現雜質或不均勻。

• 維修方法：徹底清潔基材和旋涂儀，使用丙酮等溶劑去除殘留物，確保操作環(huán)境無塵。



2. 旋轉臺故障：

• 現象：旋轉臺無法啟動或轉速不穩(wěn)定。

• 維修方法：檢查電源線是否連接良好，檢查旋轉臺電機是否損壞，必要時更換電機或維修電路板。



3. 滴液不均勻：

• 現象：旋涂后的薄膜厚度不一。

• 維修方法：檢查滴液系統(tǒng)是否堵塞，調整滴液量和滴液位置，確保每次滴液量一致且準確滴在基板中心。

4. 機械部件磨損：

• 現象：旋涂儀運行噪音大，旋轉不平穩(wěn)。

• 維修方法：定期潤滑機械部件，檢查并更換磨損的零件，如軸承、齒輪等。

5. 控制系統(tǒng)故障：

• 現象：無法設置參數或參數設置無效。

• 維修方法：檢查控制系統(tǒng)電路板是否損壞，重新校準傳感器和控制器，必要時更換電路板或升級軟件。

五、總結

旋涂儀作為一種高效、精確的涂覆設備，在材料科學和微電子技術領域發(fā)揮著重要作用。了解其工作原理、掌握正確的使用方法、及時發(fā)現并解決常見故障，對于保證實驗效果和延長設備壽命具有重要意義。

六、容濟機電維修過的旋涂儀品牌和型號

   1、 Laurell Technologies Corporation

（1）WS-400B系列：WS-400B-6NPP-LITE，WS-400B-6NPP-LITE-S，

         WS-400B-6NPP-LITE-6K，WS-400B-6NPP-LITE-8K

（2）WS-650系列：WS-650-23，WS-650-23NPP，WS-650-8B，WS-650-8B-6K

   2、SüSS MicroTec

（1）LabSpin系列：LabSpin 6，LabSpin 8

   3、Specialty Coating Systems (SCS)

（1）P6700系列：P6700，P6708

   4、Chemat Technology

（1）KW-4A: 精密旋涂儀

（2）KW-4B: 精密旋涂儀

   5、Ossila

（1）Spin Coater系列：Ossila Spin Coater

   6、Spin Coating by Integrated Technologies

（1）VTC-100系列：VTC-100

（2）VTC-200系列：VTC-200

   7、Delta Scientific Equipment

（1）Spin150系列：Spin150

   8、APT GmbH

（1）Spin150: 高精度旋涂儀

   9、Future Digital Scientific

（1）WS-650Mz-23NPPB: 精密旋涂儀

（2）WS-650-23NPP-LITE: 精密旋涂儀

   10、Holmarc Opto-Mechatronics

（1）HO-TH-05: 精密旋涂儀

（2）HO-TH-06: 精密旋涂儀

   11、Midas System

（1）Midas Spin Coater: 高精度旋涂儀

   12、Brewer Science

（1）Cee 200X: 精密旋涂儀

（2）Cee 300X: 精密旋涂儀

   13、POLOS by SPS-Europe

（1）POLOS 200: 精密旋涂儀

（2）POLOS 400: 精密旋涂儀

   14、EV Group (EVG)

（1）EVG150: 半導體制造用旋涂儀

   15、Tokyo Ohka Kogyo (TOK)

（1）SSP-300: 高精度旋涂儀

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